第120章 系统的新功能
长,您看看!
他打开木盒子,里面垫着绒布,绒布上躺着一块巴掌大的方形薄片。
硬质合金材质,表面在晨光下泛着冷蓝色的金属光泽,那上面的线条比头发丝还细,密密麻麻。
但根根分明,没有一根毛刺。
林大江接过来,凑近了看,用手指轻轻摸了一下表面。
光滑。冰凉。像镜子。
零点零八微米?
零点零八!赵长根的声音里全是骄傲,我亲自干的,磨了三块,废了两块,就这一块达标。
赵厂长,辛苦了。
不辛苦!赵长根搓着手,咧着嘴笑了,林副局长,这东西到底是干啥用的?
做试验用的。等做出来了,你第一个看。
赵长根点了点头,没有再问。
林大江把木盒子小心地放进帆布包里,骑上车,直奔陶瓷厂。
陶瓷厂,窑炉车间。
钱友德和两个徒弟已经守在炉子前面了。
硅片清洗好了,化学试剂配好了,光刻胶涂好了,掩膜版对准了。一切就绪。
林大江走进车间的时候,钱友德正蹲在炉子前面,盯着温控箱上的读数,额头上全是汗。
林副局长,可以开始了。
开始。
钱友德按下了启动键。
炉膛里暗红色的火光渐渐亮起来,温控箱上的数字开始跳动。
一千一百度,一千一百五十度,一千二百度。
温度曲线在显示屏上画出一条平滑的弧线,稳稳地停在了一千二百度。
恒温区,正负五度。
林大江站在温控箱前面,两只眼睛盯着那条曲线,一动不动。
时间一分一秒地过去。
扩散工艺的标准时长是四十分钟。
炉膛里的硅片正在被高温驱动的杂质原子,一点一点地渗入晶格。
那层只有头发丝千分之一厚的电路层,正在暗红色的火光里,慢慢成型。
四十分钟后,温控箱发出嘀的一声。
降温。
钱友德按下降温程序,炉膛里的火光慢慢暗了下去。
又过了半个小时,炉温降到了室温。
开炉。
两个徒弟戴上石棉手套,小心翼翼地打开炉门。
一股热浪扑面而来,带着硅片和石英舟特有的焦味。
钱友德用石英镊子夹出那片硅片,放在显微镜下。
他看了一眼,然后抬起头,脸上的表情很复杂。
林副局长,您来看看。
林大江走过去,凑到显微镜前面。
硅片表面,扩散层已经形成了。
颜色比之前深了一些,边缘有一圈淡淡的环状纹路。
他调了一下焦距,又看了一遍,然后直起身。
扩散深度够了。
钱友德在旁边搓着手,小心翼翼地问:那……成了?
深度够了,但均匀性不够。
林大江指了指显微镜:你看,硅片中心区域的掺杂浓度,比边缘高了将近一倍。边缘区域扩散深度偏浅,中心区域偏深。差距太大了。
钱友德凑过去看了一眼,又抬起头,脸上的汗更多了。
林副局长,这……这咋办?
林大江没有立刻回答。
他走到窑炉前面,蹲下来,看了看热电偶的安装位置,又看了看炉膛内部的气流走向。
然后他站起来,拍了拍手上的灰。
不是温度的问题。是气流。炉膛里的气态扩散源,从进气口到出气口,浓度分布不均匀。
硅片放在中间,中心区域接触到的扩散源浓度高,边缘浓度低。需要加装气流导板,把气流打散,让浓度均匀分布。
气流导板?钱友德愣了一下,那是什么东西?
林大江从口袋里掏出笔记本,翻到空白页,画了一个简单的草图。
一个圆形的金属板,上面开了十几个小孔,呈环状分布。
装在进气口前面,让气流通过这些小孔分散开,而不是一股脑儿冲到硅片上。这样炉膛里各处的扩散源浓度就能均匀了。
钱友德接过草图,看了好一会儿,然后抬起头,脸上满是愧疚。
林副局长,这东西……我不太懂。我怕做不好。
没事。你不用做。
林大江把笔记本收好,看着那个窑炉,沉默了两秒,然后开口。
我知道一个人。他懂。
钱友德愣了一下:
一个在牡丹江林场砍了三年树的半导体专家。
他转过身,看着钱友德,目光很坚定。
我明天去牡丹江,把他请回来。
从