第109章 陶瓷厂的窑炉

第二天天没亮，林大江就醒了。发^.^新^.^地^.^址 wWwLtXSFb…℃〇M

他把那套《半导体集成电路基础工艺》取了出来。

光刻胶的配比、氧化层的生长速率、扩散炉的温度曲线、掩膜版的制作精度、金属化蒸镀的真空度要求.......

密密麻麻全是图纸。

林大江在桌前坐下，开始整理、归纳。

两个小时后，桌上多了一份五页纸的方案。

《关于利用现有工业设施开展半导体集成电路预研的初步构想》。

第一页，现状分析。

陶瓷厂有高温窑炉，最高温度可达一千三百度，改造后可作为扩散炉使用。

农机厂有精密磨床，精度在五微米以内，勉强能达到掩膜版基板的加工要求。

化工实验室有酸碱处理槽，能做基板清洗和腐蚀。

第二页，改造方案。

窑炉加装温控系统，精度从±五十度提升到±五度。

磨床加装气浮导轨，减少振动。

酸碱处理槽加装恒温装置，稳定反应速率。

第三页，试制计划。

第一阶段：基板制备和氧化工艺验证。

第二阶段：光刻和扩散工艺验证。

第三阶段：完整工序串接，试制第一块集成电路样品。

第四页，预算。

设备改造、材料采购、人员培训，合计约两万元。

第五页，预期成果。

一个月内，在实验室环境下实现集成电路基础工艺的完整验证。

林大江把方案通读了一遍，改了几处措辞，然后收进公文包，出了门。

......

早上八点，三江陶瓷厂。

陶瓷厂厂长钱友德接到徐建的电话，已经在门口等着了。

他四十来岁，穿着一件洗得发白的工作服，两只手背在身后，指缝里还嵌着洗不掉的釉料痕迹。

林副局长，早。

钱厂长，早。发布页Ltxsdz…℃〇M

林大江没寒暄，直接往里走。

钱友德跟在他旁边，边走边介绍厂里的情况。

三座窑炉，两座电窑、一座燃气窑。电窑是前年新换的，控温精度还行，但跟我们干这行的要求比，还是差了点火候。

燃气窑是五八年建的，现在基本闲置。

林大江在燃气窑前面停下来。

窑炉不小，大约三米长、两米宽、两米高，炉膛里积了一层灰，几块废匣钵歪倒在角落里。

炉体外壁的耐火砖有几处开裂了，但主体结构还在。

这窑，以前烧什么？

以前烧过耐火材料，后来耐火材料不做了，就闲置了。

炉膛最高能到多少度？

理论上一千三百度。但控温系统是五八年的老货，温差大得吓人。设定一千二，实际能跑到一千四，回头又掉到一千一。

林大江蹲下来，用手指刮了一下炉膛内壁的积灰，看了看颜色和质地，又站起来，绕到窑炉后面，看了温控箱和热电偶的安装位置。

钱友德站在旁边，看着他在窑炉前后转了三圈，终于忍不住开口：林副局长，您这是……看上这窑了？

看上了。

林大江转过身，从公文包里抽出那份方案，递给钱友德。

钱厂长，这窑，我要改。

钱友德接过方案，翻开第一页，看了几行，眉头就皱了起来。

半导体……集成电路？

他抬起头，看着林大江，脸上写满了茫然，林副局长，我们这是烧陶瓷的，不是搞电子管的。

我知道。但你的窑，能烧到一千三百度。半导体扩散工艺的炉温，正好在这个范围。

把温控系统改造一下，加几组热电偶，换一套控制器，这窑就能干半导体的事。

钱友德低头又看了两页，眉头拧得更紧了。

林副局长，我不懂您说的这些……但我知道您是个干实事的人。您说怎么改，我配合。

好。改造方案我回头让人送过来。这段时间，这窑先封着，不烧别的。工人方面，你挑两个最稳当的，我亲自培训。

工人？钱友德愣了一下，就两个？

前期试验，两个人够了。后期扩产再招。

钱友德看了看手里的方案，又看了看林大江，沉默了一会儿，然后重重点头：

从陶瓷厂出来，林大江又去了农机厂。

农机厂厂长赵长根是个五十来岁的老工人出身，一听林大江说要改造一台精密磨床，二话不说就把他带到了车间。

林副局长，您看这台。上海机床厂五七年出的，精度三个微米，搁现在也